中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心內(nèi)的兩款國儀量子掃描電鏡

近日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國儀量子自主研制的首臺超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試，即將投入試運(yùn)行。

PART.1 技術(shù)指標(biāo)    

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（Super Tunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。

儀器特點(diǎn)

·超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

·樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

·高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

·最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

PART.2 應(yīng)用案例